| 发明名称 |
METHOD OF MAKING TWO TYPES OF TIN AND LAYER MADE THEREBY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08111413(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19950158807 |
申请日期 |
1995.06.02 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
MAKISHIMIRIAN BAIBAAGAA;SUTANREE JIYAKUSON;JIYOOJI JIEI KAKU;UIRUMAN SAI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58;C23C16/14;C23C16/56;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
