| 发明名称 |
WET TYPE CHEMICAL REMOVING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL SURFACE CONTAMINATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08111407(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19950254453 |
申请日期 |
1995.09.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
ARUFUREETO REHINAA;EERITSUHI MIYURAA;WARUTAA RIIGAA |
| 分类号 |
B08B3/08;C11D7/32;C23G1/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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