| 发明名称 |
CASSETTE ARRANGEMENT WITH A UNIT FOR HEATING SUBSTRATES IN A CHEMBER OF A VACUUM GATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL305604(A1) |
申请公布日期 |
1996.04.29 |
| 申请号 |
PL19940305604 |
申请日期 |
1994.10.26 |
| 申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII PROZNIOWEJ |
发明人 |
CYRANSKI RYSZARD;IGNACIUK ROMAN |
| 分类号 |
H01J49/00;H01L21/324;H05B3/06;(IPC1-7):H05B3/06 |
主分类号 |
H01J49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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