| 发明名称 |
ALKALINE ETCHING AGENT TO MAKE SILICON PLATES THINNER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
RU1829773(C) |
申请公布日期 |
1996.04.27 |
| 申请号 |
SU19914941219 |
申请日期 |
1991.06.03 |
| 申请人 |
MINSKIJ RADIOTEKHNICHESKIJ INSTITUT |
发明人 |
KOVALEVSKIJ A.A.;BARANOV I.L. |
| 分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
