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发明名称 Plasmagerät, Verfahren und Vorrichtung zur Extrahierung eines elektrischen Signals aus einem einer Hochfrequenzwelle ausgesetzten Glied
摘要
申请公布号 DE69118035(D1) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19916018035 申请日期 1991.07.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NOZAWA, TOSHIHISA, KOHOKO-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;KAMIKANDA, OSAMU, MIDORI-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;YOSHIDA, YUKIMASA, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;OKANO, HARUO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 C23F4/00;G01K7/00;G01K7/26;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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