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经营范围
发明名称
Schnelle Atomstrahlquelle
摘要
申请公布号
DE69026037(D1)
申请公布日期
1996.04.25
申请号
DE19906026037
申请日期
1990.11.22
申请人
EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
NAGAI, KAZUTOSHI, FUJISAWA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号
H05H7/08;H01J27/08;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02
主分类号
H05H7/08
代理机构
代理人
主权项
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