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发明名称 Zerstäubungskathode
摘要
申请公布号 DE4201551(C2) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19924201551 申请日期 1992.01.22
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 GEGENWART, RAINER, DR., 63322 ROEDERMARK, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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