发明名称 Ionen-Implantationsgerät
摘要
申请公布号 DE69209196(D1) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19926009196 申请日期 1992.09.09
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 YOSHINOUCHI, ATSUSHI, KASHIBA-SHI, NARA-KEN, JP;MORITA, TATSUO, SORAKU-GUN, KYOTO, JP;TSUCHIMOTO, SHUHEI, NARA-KEN, JP
分类号 C23C14/48;C23C14/54;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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