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经营范围
发明名称
Ionen-Implantationsgerät
摘要
申请公布号
DE69209196(D1)
申请公布日期
1996.04.25
申请号
DE19926009196
申请日期
1992.09.09
申请人
SHARP K.K., OSAKA, JP
发明人
YOSHINOUCHI, ATSUSHI, KASHIBA-SHI, NARA-KEN, JP;MORITA, TATSUO, SORAKU-GUN, KYOTO, JP;TSUCHIMOTO, SHUHEI, NARA-KEN, JP
分类号
C23C14/48;C23C14/54;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/244
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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