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发明名称 Hochempfindliche Resiste mit Selbstzersetzungstemperatur grösser als etwa 160 Grad Celsius
摘要
申请公布号 DE3751745(D1) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19873751745 申请日期 1987.10.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;CONLEY, WILLARD EARL, CORNWALL NEW YORK 12518, US;CROCKATT, DALE MURRAY, SOMERS NEW YORK 10589, US;IWAMOTO, NANCY ELLEN, PORTLAND, OR 97225, US
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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