Scanner-Vorrichtung,申请号DE19906026056-传众专利搜索

发明名称	Scanner-Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE69026056(D1)	申请公布日期	1996.04.25
申请号	DE19906026056	申请日期	1990.12.24
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	IIZUKA, TAKASHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;WATANABE, YUTAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;FUKUDA, YASUAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号	G02B5/08;G02B5/28;G02B26/10;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/08	主分类号	G02B5/08
代理机构		代理人
主权项
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