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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF MULTILAYER SILICON STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1814430(C) 申请公布日期 1996.04.20
申请号 SU19914923173 申请日期 1991.02.28
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "PULSAR" 发明人 NOGIN V.M.;MYAKINENKOV V.I.;SOPOV O.V.;SARATOVSKIJ N.K.;SEJDMAN L.A.
分类号 H01L21/24;(IPC1-7):H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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