发明名称 Negativ-Photoresist auf Basis von Polyphenolen und ausgewählten Epoxid-oder Vinyletherverbindungen
摘要
申请公布号 DE3855088(D1) 申请公布日期 1996.04.18
申请号 DE19883855088 申请日期 1988.07.22
申请人 CIBA-GEIGY AG, BASEL, CH 发明人 MEIER, KURT, DR., CH-4102 BINNINGEN, CH;ROTH, MARTIN, DR., CH-1735 GIFFERS, CH;SCHULTHESS, ADRIAN, DR., CH-1734 TENTLINGEN, CH;WOLLEB, HEINZ, DR., CH-1731 EPENDES, CH
分类号 C08G59/62;C08F2/48;C08G59/00;C08G59/18;C08L63/00;G03F7/023;G03F7/027;G03F7/032;G03F7/033;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 C08G59/62
代理机构 代理人
主权项
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