发明名称 Interstitielle Dotierung in III-V Halbleitermaterialien, um die Bildung von DX-Zentren zu vermeiden oder zu beseitigen
摘要
申请公布号 DE68925944(D1) 申请公布日期 1996.04.18
申请号 DE19896025944 申请日期 1989.11.22
申请人 XEROX CORP., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 CHADI, JAMES D., WOODSIDE CA 94062, US
分类号 H01L29/812;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/207;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/207 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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