发明名称 Mehrkammer-Plasmaätzsystem
摘要
申请公布号 DE3751738(D1) 申请公布日期 1996.04.18
申请号 DE19873751738 申请日期 1987.10.22
申请人 GENERAL SIGNAL CORP., STAMFORD, CONN., US 发明人 MAHER, JOSEPH A., SOUTH HAMILTON MASSACHUSETTS, US;VOWLES, E. JOHN, GOFFSTOWN MASSACHUSETTS, US;NAPOLI, JOSEPH D., WINHAM NEW HAMPSHIRE, US;ZAFIROPOULO, ARTHUR W., MANCHESTER MASSACHUSETTS, US;MILLER, MARK W., BURLINGTON MASSACHUSETTS, US
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;H01J37/20;H01J37/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址