| 摘要 |
<p>Mikromechanischer Aktor mit einem in einem Kanal beweglichen Kolben, der von der einen Seite her aus einer Druckkammer durch ein druckführendes Medium beaufschlagt wird. Der Aktor weist ein flaches Gehäuse auf, welches fest auf einer Substratplatte sitzt und in dem ein Kanal verläuft, in welchem ein Kolben bewegbar ist. Der Kanal mündet mit seinem einen Ende in einer Druckkammer, die mit einem druckführenden Fluid beaufschlagt wird. An der einen Seite des Kolbens ist eine Führungstange, an seiner anderen Seite eine Kolbenstange befestigt, wobei vor und hinter dem Kolben jeweils ein Lagerblock zur Führung des Kolbens auf der Substratplatte befestigt ist.</p> |
