一种测量位移量的光学细分干涉方法

摘要

本发明属于非接触位移传感器技术领域，涉及精密线位移和角位移计量的光学细分干涉方法。它是利用周期性变化的分光元件位移时，在其一个分光元件上完成光的分束和合束而形成干涉条纹，使得位移传动装置机械精度的要求降低，减轻了光学元件调整难度，并且使测量的灵敏度提高若干倍。

主权项

1、一种测量位移量的光学细分干涉方法，其步骤如下：由相干光源发出的相干光经透镜调整形成近似的平行光束而入射到周期性变化的分光元件上，相干光经周期性分光元件衍射分解为0，±1，±2，±3；……±m级次的出射光束，反射元件至少使每束出射光束的波阵面沿周期性分光元件刻线的垂直方向反转一定角度而形成反射光束并返回到周期性变化分光元件进行合束又形成0，±1，±2，±3，……±n级次的合束光束，第n级次的合束光束满足n＝m1－m2，某一级次的合束光束的干涉条纹由接收器接收而变成电信号送至处理器处理，当周期性分光元件沿其刻线垂直方向位移时，干涉条纹数目的变化正比于该位移量的大小。