| 发明名称 |
System and method for precision cleaning by jet spray |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0535680(B1) |
申请公布日期 |
1996.04.17 |
| 申请号 |
EP19920116846 |
申请日期 |
1992.10.01 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
PETERSON, RONALD V.;KRONE-SCHMIDT, WILFRIED |
| 分类号 |
B08B7/02;B08B5/02;B24C1/00;B24C3/32;B24C7/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B7/00;B08B3/02 |
主分类号 |
B08B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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