| 发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR REMOVING SURFACE CONTAMINATION MATTERS BY IRRADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CZ9502671(A3) |
申请公布日期 |
1996.04.17 |
| 申请号 |
CZ19950002671 |
申请日期 |
1994.04.11 |
| 申请人 |
CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP |
发明人 |
ENGELSBERG AUDREY C. |
| 分类号 |
B23K26/36;B08B7/00;B23K26/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
B23K26/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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