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发明名称 IMPURITY SIMULATION METHOD AND IMPURITY SIMULATOR
摘要
申请公布号 JPH08102483(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940237517 申请日期 1994.09.30
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI SATOSHI
分类号 C23C14/48;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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