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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPH08101254(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940235225 申请日期 1994.09.29
申请人 MITSUBISHI DENKI SEMICONDUCTOR SOFTWARE KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUI KIYOKO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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