发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH08102627(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940238682 申请日期 1994.10.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANAKA TATSUO
分类号 H01L21/8222;G05F3/26;H01L27/082;H03F3/343;(IPC1-7):H03F3/343;H01L21/822 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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