发明名称 CRYSTALLIZATION METHOD AND MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR USING ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH08102543(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19950194023 申请日期 1995.07.07
申请人 L JII SEMIKON CO LTD 发明人 ON ZU ZO;ZE SON RO
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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