| 发明名称 |
WAFER INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08102479(A) |
申请公布日期 |
1996.04.16 |
| 申请号 |
JP19940237206 |
申请日期 |
1994.09.30 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
FUJIIKE MITSUJIRO;NIREI TATSUO;IBARAKI HIDEFUMI;KATO TOMOO;AKIBA TORU |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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