发明名称 EXPOSURE MACHINE
摘要
申请公布号 JPH08101510(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940238247 申请日期 1994.09.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 TSUGE YUKIHIRO;WAKABAYASHI KENICHI
分类号 G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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