METHOD AND RELATED APPARATUS FOR DEPOSITING ALUMINUM OXIDE,申请号JP19950230317-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND RELATED APPARATUS FOR DEPOSITING ALUMINUM OXIDE
摘要
申请公布号	JPH08100263(A)	申请公布日期	1996.04.16
申请号	JP19950230317	申请日期	1995.09.07
申请人	INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>	发明人	SUTEIIBUN JIYOOJI BAABII;RICHIYAADO ANSONII KONTEI;AREKISANDAA KOSUTENKO;NARAYANA BUI SAAMA;DONARUDO RESURII UIRUSON;JIYASUTEIN WAIICHIYOU UON;SUTEIIBUN POORU ZUHOSUKII
分类号	C23C16/40;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/40	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
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