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发明名称
PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH08100267(A)
申请公布日期
1996.04.16
申请号
JP19940237838
申请日期
1994.09.30
申请人
KAO CORP
发明人
WAKABAYASHI SHIGEMI;KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;SHIGA AKIRA
分类号
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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