发明名称 |
FILM CARRIER SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08102473(A) |
申请公布日期 |
1996.04.16 |
申请号 |
JP19940237854 |
申请日期 |
1994.09.30 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MATSUDA SHUICHI;HO KEIICHIRO |
分类号 |
H01L21/60;H01L23/12;H01L23/31;H01L23/495;H01L23/498;H01L23/552;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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