发明名称 FILM CARRIER SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08102473(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940237854 申请日期 1994.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUDA SHUICHI;HO KEIICHIRO
分类号 H01L21/60;H01L23/12;H01L23/31;H01L23/495;H01L23/498;H01L23/552;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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