发明名称 DEVICE AND METHOD FOR GENERATING ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH08102278(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940236771 申请日期 1994.09.30
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 TANBA MORITAKE
分类号 H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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