| 发明名称 |
THIN FILM PRODUCING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08100269(A) |
申请公布日期 |
1996.04.16 |
| 申请号 |
JP19940237840 |
申请日期 |
1994.09.30 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
WAKABAYASHI SHIGEMI;KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;SHIGA AKIRA |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;C23C16/54;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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