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发明名称 ORGANIC METAL VAPOR GROWTH METHOD, AND ORGANIC METAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0897149(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940226218 申请日期 1994.09.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE AKISADA
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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