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发明名称
SILICON MICROSENSOR
摘要
申请公布号
JPH0894398(A)
申请公布日期
1996.04.12
申请号
JP19950229049
申请日期
1995.09.06
申请人
SHARP CORP
发明人
FURUBAYASHI HISATOSHI;HIJIKAWA MASAYA
分类号
G01D21/00;G01D5/12;G01J1/02;G01N27/12;H01L29/84;H01L31/0248;(IPC1-7):G01D21/00;H01L31/024
主分类号
G01D21/00
代理机构
代理人
主权项
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