发明名称 EXHAUST EQUIPMENT OF OXIDATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0897207(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940229733 申请日期 1994.09.26
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 HARADA TORU
分类号 H01L21/324;H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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