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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND INSULATING FILM THEREOF AND METHOD OF MOUNTING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0897254(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940228049 申请日期 1994.09.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIGA KATSUMI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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