发明名称 PROBE FOR NEAR FIELD SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0894648(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940231501 申请日期 1994.09.27
申请人 NIKON CORP 发明人 KOMIYA TAKEHARU
分类号 G01N37/00;G01Q60/22;G02B21/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
主权项
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