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发明名称 FORMATION OF WIRING INTER-LAYER FILM
摘要
申请公布号 JPH0897285(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940235204 申请日期 1994.09.29
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TSUKUMO TOSHIKI
分类号 H01L21/768;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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