| 发明名称 |
SCANNING SYSTEM OF SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0894644(A) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
JP19940226668 |
申请日期 |
1994.09.21 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
IWATSUKI MASASHI;NAKAMOTO KEIICHI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
