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发明名称 PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0894652(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940231440 申请日期 1994.09.27
申请人 NIKON CORP 发明人 SATO KENICHI
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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