| 发明名称 |
GAS PRESSURE MEASURING APPARATUS EMPLOYING LIGHT SCATTERING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0894475(A) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
JP19940231732 |
申请日期 |
1994.09.27 |
| 申请人 |
KYUSHU UNIV;ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
MURAOKA KATSUNORI;UCHINO KIICHIRO |
| 分类号 |
G01L21/00;G01L9/00;G01N21/47;(IPC1-7):G01L21/00 |
主分类号 |
G01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
