| 发明名称 |
IC TESTER WITH COOLING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0894706(A) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
JP19940232656 |
申请日期 |
1994.09.28 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SENDA KAZUNARI;YAMANOUCHI MANABU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H05K7/20;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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