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发明名称
OPTICAL-PROBE HOLDING DEVICE FOR NEAR FIELD SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH0894650(A)
申请公布日期
1996.04.12
申请号
JP19940232843
申请日期
1994.09.28
申请人
NIKON CORP
发明人
SATO KENICHI
分类号
G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/22;G01Q70/02;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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