发明名称 SENSOR ELEMENT AND SENSOR APPARATUS FOR DETECTION OF VIBRATION AS WELL AS VIBRATION DETECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0894431(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940257378 申请日期 1994.09.28
申请人 UNITTA CO LTD;KAWACHI KENKYUSHO:KK 发明人 ICHIBA HIROYUKI;KAWACHI KIYOSHI
分类号 G01L5/10;G01H13/00;(IPC1-7):G01H13/00 主分类号 G01L5/10
代理机构 代理人
主权项
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