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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VACUUM INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH0894480(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940224778 申请日期 1994.09.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 INOUE MASASHI
分类号 G01M3/02;G01M3/24;(IPC1-7):G01M3/24 主分类号 G01M3/02
代理机构 代理人
主权项
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