| 发明名称 |
PROCEDE DE FORMATION DE TROUS DANS UNE COUCHE DE RESINE PHOTOSENSIBLE APPLICATION A LA FABRICATION DE SOURCES D'ELECTRONS A CATHODES EMISSIVES A MICROPOINTES ET D'ECRANS PLATS DE VISUALISATION |
| 摘要 |
<P>Procédé de formation de trous dans une couche de résine photosensible, application à la fabrication de sources d'électrons à cathodes émissives à micropointes et d'écrans plats de visualisation.<BR/>Selon ce procédé, on insole la couche de résine (22) à travers une monocouche de billes (28) transparentes à la lumière d'insolation (26), chaque bille focalisant cette lumière sur la couche de résine et provoquant ainsi l'insolation d'une zone de cette couche de résine et on développe la couche de résine ainsi insolée.</P> |
| 申请公布号 |
FR2725558(A1) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
FR19940012065 |
申请日期 |
1994.10.10 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
IDA MICHEL;MONTMAYEUL BRIGITTE |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/20;H01J9/02 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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