发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY
摘要
申请公布号 JPH0897305(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940226661 申请日期 1994.09.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUOKA HIDEYUKI;KIMURA SHINICHIRO
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/66;H01L29/76;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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