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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0896744(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940230966 申请日期 1994.09.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 HIRANABE MASASHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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