| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0897345(A) |
申请公布日期 |
1996.04.12 |
| 申请号 |
JP19940231153 |
申请日期 |
1994.09.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
HASHIMOTO KENJI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
