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发明名称
Einrichtung zur Messung einer Verschiebung.
摘要
申请公布号
DE69205813(T2)
申请公布日期
1996.04.11
申请号
DE19926005813T
申请日期
1992.12.18
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ISHIZUKA, KOH, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP;NISHIMURA, TETSUHARU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP;KANEDA, YASUSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO 146, JP
分类号
G01D5/38;G01P3/36;(IPC1-7):G01D5/38
主分类号
G01D5/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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