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发明名称 GROSSFLÄCHIGE UNIFORME ELEKTRONENQUELLE
摘要
申请公布号 DE68925898(D1) 申请公布日期 1996.04.11
申请号 DE19896025898 申请日期 1989.11.14
申请人 ELECTRON VISION CORP., SAN DIEGO, CALIF., US 发明人 LIVESAY, WILLIAM, R., SAN DIEGO, CA 92131, US
分类号 H01J3/02;H01J37/073;H01J37/077;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/077 主分类号 H01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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