发明名称 Hochauflösendes lithographisches Verfahren
摘要
申请公布号 DE69208769(D1) 申请公布日期 1996.04.11
申请号 DE19926008769 申请日期 1992.07.28
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 DOUGLAS, MONTE A., COPPELL, TEXAS 75019, US
分类号 G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/36 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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