发明名称 SUBSTRAT-PRÜFUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE68925901(D1) 申请公布日期 1996.04.11
申请号 DE19896025901 申请日期 1989.05.02
申请人 OMRON CORP., KYOTO, JP 发明人 KOBAYASHI, SHIGEKI OMRON INSTITUTE OF LIFE, HANAZONO, UKYO-KU KYOTO-SHI KYOTO 616, JP;TANIMURA, YASUAKI OMRON INSTITUTE OF LIFE, HANAZONO, UKYO-KU KYOTO-SHI KYOTO 616, JP;YOTSUYA, TERUHISA OMRON INSTITUTE OF LIFE, HANAZONO, UKYO-KU KYOTO-SHI KYOTO 616, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G01R31/309;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址